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概要
所謂質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，必須對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候，不容易受到環境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在必須對流量進行精確計測和控制的領域，質量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業、太陽能光電工業和微加工制造業等。
規格
技術規格
| 型號 | SEC- (質量流量控制器) | E40/E40MK3 | E50/E50MK3 |
|---|---|---|---|
| SEF- (質量流量計) | E40 | E50 | |
| 適用氣體種類*1 | 非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He) | ||
| 氣體接觸部材質 | SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼 | ||
| 閥門型號 | 非通電時 關閉 | ||
| 標準流量量程 (N2相應F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
| 流量控制范圍 | 2?99% F.S. | ||
| 流量測量范圍 | 0?99% F.S. | ||
| 響應速度 | 1秒以內(T98) | ||
| 流量精度 | ±1% F.S. | ||
| 直線性 | ±0.5% F.S. | ||
| 反復性 | ±0.2% F.S. | ||
| 工作差壓值值 | 10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d) | ||
| 使用壓力 | 300kPa(G)以下 | ||
| 耐 壓 | 1MPa(G)以下 | ||
| 外部泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/s(He)以下 | ||
| 使用環境溫度 | 5?50℃(精度的確保：15?35℃) | ||
| 流量設定信號 | 0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?99% F.S. | ||
| 流量輸出信號 | 0?5VDC(最小負荷電阻2kΩ) | ||
| 驅動電源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |
| 標準接頭*2 | 1/4SWL 類型 | ||
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