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流量范圍：0.01-30 SLPM 最小流量范圍：0.01SLM
韓國萊因泰可( LINE TECH )高精度氣體質量流量計/氣體質量流量控制器，廣泛應用于所有工業，氣體混合及分析 ，半導體工業，光纖，燃料電池，反應器系統，氣體的混合系統。產品設計堅固、耐用，且經濟。
優 勢：
l 測量質量流量
l 不需要溫度、壓力補償
l 緊湊的流量控制系統
l 高精度（±1%F.S）
l 耐高壓（90公斤）
l 量程范圍廣：0.01SLPM ~ 30SLPM 之間可選/
l 兩種輸入輸出信號：0~5Vdc or 4~20mA 可選
l 兩種供電方式：+15Vdc or +24Vdc 可選
l 電氣連接： 15 針（D型插頭）
l 快速響應時間兩種：＜ 1 秒 or ＜2秒 可選
l 高重復性（±0.25%F.S)
l 接頭方式多樣選擇：SWL： 1/4″、1/8″、3/8″
VCR ： 1/4″
規 格：
| 型號 | M2030VA |
| 流量范圍（N2) | 0.01~30 SLPM |
| 響應時間 | ＜1 秒 |
| 精確度 | ±1% |
| 重復精度 | ±0.25% |
| 輸入輸出信號 | 0~5Vdc |
| 供電 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
| 工作壓力 | 15 Bar |
| 工作溫度 | 0~50℃ |
| 漏率 | 1×10-9 atm.cc/sec |
| 控制范圍 | 2~99% |
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