HORIBA流量計AMAT3030-17596

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產品型號：2203
廠商性質：經銷商
更新時間：2025-06-04
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AMAT3030-17596

Cryo-Plex 16 低溫泵

考慮全面的高效設計，使得Cryo-Plex 10低溫泵可以實現兩倍于8寸低溫泵的抽速，是理想的潔凈、無油高真空排氣方案。

標準應用：半導體、空間環境模擬、真空鍍膜以及各種研發領域

配置靈活

支持ANSI、ISO、CF等多種法蘭接口

用一臺M600氦氣壓縮機可以同時驅動單臺或者兩臺Cryo-Plex10 低溫泵，從而節省空間、電能和維護工作。對于需要多臺低溫泵的大型真空室，是非常理想的選擇。

標準設計

Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低溫泵、壓縮機可以與Helix品牌的CryoTorr系列低溫泵、壓縮機相互兼容和替換，從而大大方便使升級、維修、交換等服務。

參數

Cryo-Plex 10 - Gas pumping speeds liters/second
Air	3,000
Water	9,000
Hydrogen	5,000
Argon	2,500
Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr
Hydrogen	24
Argon	2,000
Throughput
Argon sccm	1,500
Crossover
Torr-liters	300
Cool down time
60 Hertz	最寬的流量和壓力適用范圍長期穩定性保障設備使用價值包括經認證適用于危險區域的產品可清洗/沖洗的設備外殼流體類型氣體流量范圍-滿量程容量 3 sccm - 2500 lpm 精度 ± 0.6% of SP 最大壓力 4500 psig 溫度 65oC 輸出類型 Analog & Digital 金屬密封熱適用于對濕度或氧氣敏感的過程高純度流路可最大限度降低過程污染，提高產率超快速響應能力流體類型氣體流量范圍-滿量程容量 3 sccm - 300 slpm 精度 SP ±1% 最大壓力 150 psig 溫度 50oC 輸出類型 Analog & Digital 高溫熱最高工作溫度高精度和可重復性超高純度結構流體類型氣體 , 水汽流量范圍-滿量程容量 3 sccm - 10 slm 精度 SP ±1% 最大壓力 145 psig 溫度 105oC 輸出類型 Analog & Digital 科里奧利超低流量過程可達到的最高精度內置式液體密度計同時適用于液體和氣體應用的設備流體類型氣體, 液體流量范圍-滿量程容量 10 - 27,000 gram/hr 精度 0.2% - 0.5% of Rate 最大壓力 4500 psi 溫度 65oC 輸出類型 Analog & Digital 60 Min
Cryopump measurements
Height	23.9"
Weight LBS	85
Inlet flange	ANSI/ISO/CF

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